設備簡述

KC3111功率半導體高精度靜态特性測試系統（面向工廠制造端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規級模塊的新興要求而進行的一次高标準商品開發。脈沖信号源輸出方面，高壓源标配2000V（選配3.5KV）,高流源标配1KA（選配4KA多模塊并聯）,栅極電壓30V。采用多量程策劃架構，各量程下均可保證0.1%精度，具有uΩ級精确測量，pA 級漏電流測量能力。全自動程控軟件，圖型化上位機操作界面。内置開關切換矩陣保證測試效率。模塊化結構策劃預留升級擴展潛能。測試接口可外挂各類夾具和适配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機、機械手、探針台、編帶機等。

适用商品

可測Si, SiC, GaN 材料的IGBTs, DIODEs, LED,MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容，光耦等商品的制造測試。

參考标準

IEC 60747-8/9 半導體分立器件第8/9部分/JEDEC标準

設備特點

KC-3111系 統 包 含 ： 硬件平台 + 實時軟件，可測試靜态特性、IV 曲線、容阻測試（Rg、Cxss）、CV 曲線；主要特點如下:

量程寬：電壓 2KV/3.5KV；電流 1KA/2KA/3KA/4000A（模塊并聯）高精度：多量程策劃架構，各量程下均可保證 0.1%精度，具有 uΩ級精确測量、pA 級漏電流測量；

高效率：内置開關矩陣，自動切換測量單元，提高制造測試效率；

模塊化：根據測試需求搭配不同規格測量單元。

在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實時在線高低溫箱，幫助 48 工位和 98 工位。圓形旋轉盤，溫度均勻性優秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱達成聯動控制；

具備數據管理性能，上位機可達成數據曲線、報告及自動保存；

IV曲線：2K點以内的 IV 曲線實時掃描；CV曲線：栅電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線。

軟件系統

技藝參數